Тип 8710 - массовый регулятор расхода газов (MFC)

Описание

Описание типа Регулятор расхода массовый (MFC) Тип 8710 предназначен для управления агрессивными газами, газовыми смесями и PPпримесями с чередующимися газами. Для этого используется кабельный датчик термический с NOn-смачиваемым датчиком ELEMENTs. Дляms в контакте со средой используются изготовлены из высококачественной нержавеющей стали и FFKM в качестве уплотнения материала с высокой химической стойкостью. Тип 8710 опционально может быть откалиброван для двух разных газов; пользователь может переключаться между этими двумя газами. MFC ACобеспечивает высокий уровень управления точности благодаря использованию технологии пропорционального клапана Bürkert, применения-aPPподходящей КОМПоновке отверстия клапана и встроенномуконтроллеру PI. При необходимости MFC может быть реализован с низкой потерей давления благодаря разнообразию доступных отверстий клапанов. В качестве электрического интерфейса доступны как стандартные аналоговые сигналы, так и полевые шины.; номинальный диапазон от 0,005 дюйм/мин до 15 дюйм/мин (относительно азота); Высокая точность и повторяемость; APPпригоден для агрессивных газов; Простое переключение между рабочимиRaтгазами; Опционально: интерфейс полевой шины